特点：
采用提高了解析能力的64bit处理系统 标准配置可*多保存、处理4亿点超声波测定的数据，选购配置*1时，可*多保存、处理20亿点超声波测定的数据。 这样，以往使用FineSAT Ⅲ时，对8英寸的晶圆进行1次测定并转换成图像时的*小测定间距为40 µm，而现在使用FineSAT Ⅴ，标准配置能以20 µm的微小间距取得数据并转换为图像，选购配置时，能以10 µm以下的微小间距取得数据并转换为图像，所以1次扫描就可完成大样品的详细测定。 另外，还可进行支持高精度解析、评价的多种图像显示。
扫描仪的*大扫描速度提高到2,000mm/s，缩短了检查时间 测定晶圆等大样品时，扫描仪的扫描速度对测定时间的影响很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速扫描仪，还将超声波脉冲的发生周期降低到1/2，这样，测定时间缩短了25%*2。 除了加减速时，扫描仪的*大扫描速度提高到2,000mm/s*3，通过新设计的高刚性框架抑制装置的振动，所以高速扫描也能获得鲜明的图像。 考虑了设置场所、作业性的装备 考虑在洁净室内的使用的情况，扫描仪的门采用上弹方式，同时，作为门的选购件，还准备了防静电型透明板，提高了防尘性。 为了设置样品、维护设备时可顺畅拆装台面、框架，前面的下部窗口可向下180°全开。 本体操作部位采用防静电板，抑制操作员静电的影响。 本体电源ON就可进行升降机的升降操作。不用启动FineSAT软件就可动作。 标准装备便携控制器。 以往，移动扫描仪内的探头时，要用鼠标或键盘操作显示器画面内的按钮，来回移动视线，查看、操作探头和监视器或键盘。 如果使用便携控制器，不用离开视线，就可对探头位置进行微调整。 配备23英寸显示器，大幅提高数据解析等的视认性、作业性。 可选择双显示器。 *1GUIPC为选购件的情况。 *2与本公司以往机型相比，因条件而有所不同。 *3因测定条件不同，*大扫描速度可能受到限制。
测定晶圆等大样品时，扫描仪的扫描速度对测定时间的影响很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速扫描仪，还将超声波脉冲的发生周期降低到1/2，这样，测定时间缩短了25%*2。
除了加减速时，扫描仪的*大扫描速度提高到2,000mm/s*3，通过新设计的高刚性框架抑制装置的振动，所以高速扫描也能获得鲜明的图像。
标准装备便携控制器。 以往，移动扫描仪内的探头时，要用鼠标或键盘操作显示器画面内的按钮，来回移动视线，查看、操作探头和监视器或键盘。
如果使用便携控制器，不用离开视线，就可对探头位置进行微调整。
*1GUIPC为选购件的情况。
*2与本公司以往机型相比，因条件而有所不同。
*3因测定条件不同，*大扫描速度可能受到限制。
能将超声波的测定时间单位设定为以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。
不断细微化、多层化的电子装置的薄层内的缺陷、层间剥离的检测、深度位置信息的精度提高。
可与图像锐化软件（对超声波信号劣化进行补正，使图像更加鲜明）、体积图像软件（在测定后将收集的波形数据解析为测定图像和波形）、孔隙浏览器软件（显示孔隙(缺陷)后进行合格与否判定、统计处理）等高度的解析软件组合。