HCP421V-MPS XYZ模块化变温探针台
HCP421V-MPS Instec的真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化
·mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备
·可编程控温，涵盖-190℃~400℃
·适用 10 mm ~26 mm 晶圆和器件
·可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用
·独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针,
·模块化设计，可自由组合
·可升级为8个独立探针
·可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK
·SMA接头转BNC四探针，手动点针
·可选三同轴接口，用于pA级测试
温控参数
温度范围
-190℃ ~ 400℃（负温需配液氮制冷系统）
传感器/温控方式
100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）
*大升温速率
30℃/min
*小温控速度
±0.01℃/min
温度分辨率
0.01℃ RTD传感器
温度稳定性
±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）
软件功能
可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线
电学参数
探针
默认为铼钨材质的弯针探针
可从外部XYZ移动的探针臂
点针
从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置
探针接口
默认为SMA接头转BNC
*可增设腔内接线柱（样品接电引线）
样品台面电位
默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口
光学参数
适用光路
反射光路
窗片
可拆卸与更替的窗片
*小物镜工作距离
8/12（可选）mm *截面图中WD
上盖窗片观察
窗片范围φ45mm，*大视角±50° *截面图中θ1
负温下窗片除霜
吹气除霜管路
结构参数
适用样品
26 mm 直径（标准）
样品腔高
4/8 mm （可选）
粗调模式+微调模式，XY粗调20mm
XY微调行程10mm,Z微调 3mm
10um
真空腔，也可充入保护气体
可通循环水，以维持外壳温度在常温附近
300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg
配置列表 基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器 可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线
配置列表
基本配置
真空型台式探针台、mK2000B温控器
可选配件
安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线